RES(不锈钢圆环)栅尺名称
典型安装精度*(取决于圆环直径)
栅距
20 ºC时的热膨胀系数
圆环直径
读数头兼容性
RESM
(300 mm直径)±3.1角秒(150 mm直径)±5.5角秒(75 mm直径)±9.5角秒
20 µm/40 µm
15.5 ±0.5 µm/m/℃
52 mm至550 mm
VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC
RESA30
(300 mm直径)±3.1角秒(150 mm直径)±5.5角秒(75 mm直径)±9.5角秒
30 µm
15.5 ±0.5 µm/m/℃
52 mm至550 mm
RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS
*“典型”安装精度是刻划精度和安装误差相结合的结果,二者在某种程度上相互抵消。
REX(超高精度不锈钢圆环)栅尺名称
典型安装精度*(取决于圆环直径)
栅距
20 ºC时的热膨胀系数
圆环直径
读数头兼容性
REXM20/REXT20
(直径 ≥ 100 mm)±1角秒(直径为75 mm)±1.5角秒(直径 ≤ 57 mm)±2角秒
20 µm
15.5 ±0.5 µm/m/℃
52 mm至417 mm
VIONiC、TONiC、TONiC UHV
REXA30
(直径 ≥ 100 mm)±1角秒(直径为75 mm)±1.5角秒(直径 ≤ 57 mm)±2角秒
30 µm
15.5 ±0.5 µm/m/℃
52 mm至417 mm
RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS
*“典型”安装精度是刻划精度和安装误差相结合的结果,二者在某种程度上相互抵消。
RCDM(玻璃码盘)栅尺名称
栅距
20 ºC时的热膨胀系数
码盘外径
读数头兼容性
RCDM
20 µm/40 µm
~8 µm/m/℃
17 mm至108 mm
ATOM、ATOM DX