光栅栅尺系列

RES(不锈钢圆环)栅尺名称

典型安装精度*(取决于圆环直径)

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

圆环直径

读数头兼容性

RESM

(300 mm直径)±3.1角秒(150 mm直径)±5.5角秒(75 mm直径)±9.5角秒

20 µm/40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/℃

52 mm至550 mm

VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC

RESA30

(300 mm直径)±3.1角秒(150 mm直径)±5.5角秒(75 mm直径)±9.5角秒

30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/℃

52 mm至550 mm

RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS

*“典型”安装精度是刻划精度和安装误差相结合的结果,二者在某种程度上相互抵消。

REX(超高精度不锈钢圆环)栅尺名称

典型安装精度*(取决于圆环直径)

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

圆环直径

读数头兼容性

REXM20/REXT20

(直径 ≥ 100 mm)±1角秒(直径为75 mm)±1.5角秒(直径 ≤ 57 mm)±2角秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/℃

52 mm至417 mm

VIONiC、TONiC、TONiC UHV

REXA30

(直径 ≥ 100 mm)±1角秒(直径为75 mm)±1.5角秒(直径 ≤ 57 mm)±2角秒

30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/℃

52 mm至417 mm

RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS

*“典型”安装精度是刻划精度和安装误差相结合的结果,二者在某种程度上相互抵消。

RCDM(玻璃码盘)栅尺名称

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

码盘外径

读数头兼容性

RCDM

20 µm/40 µm

~8 µm/m/℃

17 mm至108 mm

ATOM、ATOM DX

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